能譜儀百科

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簡介

能譜儀(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。

原理

各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量△E，能譜儀*是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。

性能指標

探頭：一般為Si(Li)鋰硅半導體探頭

探測面積：幾平方毫米

分辨率(MnKa)：～133eV

探測元素范圍：Be4～U92

測器原理

當光子進入檢測器后，在Si(Li)晶體內激發出一定數目的電子空穴對。產生一個空穴對的*低平均能量ε是一定的(在低溫下平均為3.8ev)，因此由一個 X射線光子造成的空穴對的數目N=△E/ε。入射X射線光子的能量越高，N*越大。利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對，經過前置放大器轉換成電流脈 沖，電流脈沖的高度取決于N的大小。電流脈沖經過主放大器轉換成電壓脈沖進入多道脈沖高度分析器，脈沖高度分析器按高度把脈沖分類進行計數，這樣*可以描出一張X射線按能量大小分布的圖譜。

使用范圍

1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析;

2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態成分的鑒定;

3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測;

4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領域;

5、進行材料表面微區成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。

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